从流量测控到等离子体之心，北京华丞电子股份有限公司（简称：华丞电子）的成长路径体现了技术积累与创新整合。华丞电子在传承四十余年流量测控经验技术的基础上，整合融入射频、晶圆传输等专业技术优势和创新能力，致力于为半导体、清洁能源、真空工业、生命科学及科学研究五大领域用户，提供精密零部件产品及整体解决方案。射频电源与匹配器，成为华丞电子产品矩阵中的重要方向。

华丞电子秉承“以客户为中心，以价值创造者为本，持续创新”理念，精研需求、尊重科学、潜心技术、持续创新，形成了射频电源、匹配器、ESC直流电源、流量测控、真空测控、气/液路系统、磁流体密封装置、晶圆传输系统等系列产品。服务对象包括设备制造商、芯片制造FAB厂、医疗设备制造商、高校、科研院所等。公司已布局三大研发生产基地，营销服务体系覆盖欧、美、亚、非主要国家和地区。在职员工1000人，其中技术人员占35%。华丞电子以发展精密零部件为己任，在传承四十余年流量测控经验技术的基础上，勇于开拓，敢于创新，整合融入射频、晶圆传输等专业技术优势和创新能力，着力打造中国先进的精密零部件产业平台。

在产品矩阵中，射频电源与匹配器包括半导体射频电源、400kHz-13.56MHz射频电源、脉冲波射频电源、连续波射频电源、等离子体射频电源、刻蚀工艺射频电源、ESC直流电源、直流电源、射频电源匹配器、多频射频匹配器、匹配器。射频传感器包括射频传感器、半导体射频传感器。2023年，射频工程中心成功研发高性能数字匹配器。这一进展，是华丞电子在射频方向持续投入的体现。等离子体在半导体工艺中承担着刻蚀、沉积等关键作用，射频电源与匹配器需要与工艺腔室、气路系统、真空测控等环节协同。华丞电子从流量测控出发，逐步将产品能力延伸到射频、晶圆传输等方向，形成多产品协同的基础。

回顾发展历程，1979年，成功研发气体质量流量控制器，相关流量计攻关小组成立，成功研制气体质量流量控制器D07-1/ZM型，并获得了1980年度“重大技术改进成果一等奖”。1985年，快速气体质量流量控制器D07-7和大流量气体质量流量控制器D07-9产品样机试制成功。1986年至1987年，D07-7A快速气体质量流量控制器，先后获得“六五”国家科技攻关产品奖和电子工业部科技成果奖。1988年，成功研发气体流量校准台。1990年，研发新型快速气体质量流量控制器，成功研发新型D07-10/ZM、D07-10A/ZM、D07-10B/ZM型气体质量流量控制器系列产品。1991年，D07-10/ZM产品获得机械电子工业部科学进步二等奖，同年获得北京市经济委员会北京市新产品三等奖。1994年，D07-10/ZM、D07-10A/ZM型号产品获国家科学技术委员会技术成果证书。1995年，成功研制D07-11/ZM高耐压气体质量流量控制器、D07-12/ZM型国际标准气体质量流量控制器。1996年，成功研制D08型流量积算仪，适用于D07-13/ZM型气体质量流量控制器产品。1999年，成功研制高精度D07-15/ZM型气体质量流量控制器，产品具高稳流特点，产品结构紧凑。同期改进了D07-9C/ZM型大流量产品。

2006年，气体质量流量控制器、自动化传输设备同步创新，成功研制D07-60A、D07-60F型大流量气体质量流量控制器产品，同年，D07-7C和D07-19B及D07-11C型高压产品通过CE认证。流量计分公司与海外相关企业签订联合合作协议，研发适用于8英寸半导体设备的全新高性能数字质量控制器和流量计产品。2009年，D07-9G产品通过UL认证。同时，公司精密机加的精密零件进入批量生产，符合SEMI标准要求。CS200产品被认定为北京市自主创新产品，并取得北京市发改委高新技术成果转化认定，CS产品被评为第三届中国半导体协会创新技术奖、第三届（2008年度）中国半导体创新产品半导体设备奖。2011年，数字产品CS230G通过北京市工业促进局的省部级鉴定。2012年，成功研发适用于大规模集成电路装备的CS300气体质量流量控制器，该产品采用了基于DF的压力信号补偿算法，各项技术指标均严格按照SEMI标准，支持W型、C型IGS气路系统。热式数字气体质量流量控制器获得北京市科学技术二等奖。2013年，成功研发CS310和CS320热式数字气体质量流量控制器产品，采用压力信号补偿技术、支持国际标准气体接头的IGS气体系统使用、结合高精度的金属表面加工技术和机械加工技术，具有高精度、低零漂、高稳定性等优势。同年，该产品获得第七届（2012年度）中国半导体协会等评选的中国半导体创新产品与技术奖励。2023年，射频工程中心成功研发高性能数字匹配器。2025年，华丞电子正式搬入位于北京经济技术开发区景园街13号院的总部基地。2026年，北京华丞电子有限公司更名为北京华丞电子股份有限公司。

从流量测控到等离子体之心，华丞电子的产品组合覆盖射频电源、匹配器、ESC直流电源、流量测控、真空测控、气/液路系统、磁流体密封装置、晶圆传输系统等。对于半导体设备制造商、芯片制造FAB厂、医疗设备制造商、高校、科研院所等用户而言，多产品协同有助于减少接口环节的沟通成本。华丞电子以合作共赢为基础，为全球合作伙伴贡献华丞价值。未来，随着射频工程中心等研发力量的持续工作，华丞电子在半导体设备用射频电源领域的技术积累有望进一步转化为产品与服务能力。

北京华丞电子股份有限公司

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