各种物件在送入无尘区前有必要通过净化处理，简称;物净。
物料净化道路与人净道路应分隔，如果物料与人员只能在同一处进入无尘车间，也有必要分门而入，物料先通过粗净化处理。
关于出产流水线不强的场合在物料道路中心可设中心库。
如果出产流水线很强，则选用直通式物料道路，有时还需求在直通道路中心设屡次净化、传递设备。
在体系规划上，物净用房的粗净化和精净化阶段由于会吹落很多生微粒，所以相对无尘区应坚持负压或零压，如果污染危险性大则对进口方向也要坚持负压。
房间技能夹层。这种方法和顶部夹层比较，能够削减夹层的布线与高度，能够省去回风管道返回上夹层所需的技能夹道。夹道内还可设回风机动力设备配电等，某层无尘车间的上夹道能够兼做上一层的下夹道。
上下夹层内的水平管线一般都要转向为竖向管线，这此竖向管线地点的荫蔽空间即技能夹道。技能夹道还能够放置不宜在无尘车间内的一些辅佐设备，乃至还能够作为一般回风管道或静压箱，有的可安设光管型散热器。
这类技能夹道（墙）由于大多选用轻质间隔，所以当工艺调整时，可方便地进行调整。