超纯水水质指标

超纯水水质指标常用的是电阻率，总有机碳，颗粒，热源

超纯水水质指标分为一级超纯水水质指标和二级超纯水水质指标分别为电阻率（25℃）MΩ。cm≥15 ≥10 2。电导率μS/cm0.05 0.1 3. ph值6.8-7.2 6.6-7.4 4. 总数个/mL ＜3 ＜9 5.微粒（直径＞0.5μm,粒/mL)＜150 ＜300 6. 二氧化硅＜10 ＜20 7.有机物（以COD计）＜0.3 ＜0.5 8.钠 N＜0.5 ＜2