l更高的精度：24bit采样
l更多的参数组选择：99组
l更多的IO接口：8 IN,8 OUT
l友好的人机界面：5寸彩色触摸屏
l便利的数据导出：RS232
l节约系统成本：夹具控制功能
概况
电源电压
220
伏（V/AC）
设备功率
50
瓦（W）
气源压力
0.4～0.7
兆帕（MPa）
环境温度
10～45
摄氏度（℃）
设备尺寸
250*300*160
毫米（mm）
设备重量
2.5
公斤（KG）
参数
测试方式
流量测试
测试压力（可选）
A:1～30，B:20～700，C：50～1000
千帕（kPa）
流量范围（可选）
0.5，1，2，5，10，20，50，100，200，500
1，2，5，10，20，50，100，250，500，1000，1500
毫升/分钟（sccm）
毫升/分钟（SLPM）
测试时间
0～999.9
秒（S）
流量分辨率
0.1
毫升/分钟（sccm）
精度
±0.8％读数±0.2％满量程
配置
压力调节方式
机械调节
设备接口
RS232，IO
屏幕参数
5寸彩色触摸屏
参数组数量
99个独立组号
数据容量
5000个测试结果
夹具控制
2个
气源处理
配置过滤器
P520L正压流量检测仪